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純蒸汽是沒有任何雜質的蒸汽，因此不能在鍋爐中燃燒產生，因為這樣或多或少會有一些金屬離子混入蒸汽，所以一般采用熱交換器的方式產生純蒸汽 ;現有的熱交換器是一個水箱，內部充滿了管道 ;水箱里放置純化水，而管道內流過高溫高壓蒸汽，蒸汽在高壓下，其溫度可達到 300 度以上，通過管道壁與水箱內的純化水交換熱量，使得純化水氣化，從而得到純蒸汽。
但上述結構存在以下缺陷，其效率較低，純化水各部和管道接觸不均，有的和管道不直接接觸的純化水其受熱較慢，因此造成效率低下，需要較長時間才能產生純蒸汽。
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